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潔凈室測試方法 潔凈室測試方法

潔凈室測試方法

時間:2023-09-12 欄目:化驗室管理 瀏覽:2229

B.1 風量或風速的檢測

B.1.1對于單向流潔凈室,采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量。 離高效過濾器0.3m,垂直于氣流的截面作為采樣測試截面,截面上測點間距不宜大 于0.6m,測點數不應少于5 個,以所有測點風速讀數的算術平均值作為平均風速。
B.1.2對于非單向流潔凈室,采用風口法或風管法確定送風量,做法如下:
1 風口法是在安裝有高效過濾器的風口處,根據風口形狀連接輔助風管進行測量。即用鍍鋅鋼板或其他不產塵材料做成與風口形狀及內截面相同,長度等于2 倍風口長邊長的直管段,連接于風口外部。在輔助風管出口平面上,按最少測點數不少于6 點均勻布置,使用熱球式風速儀測定各測點之風速。然后,以求取的風口截 面平均風速乘以風口凈截面積求取測定風量。
2 對于風口上風側有較長的支管段,且已經或可以鉆孔時,可以用風管法確定風量。測量斷面應位于大于或等于局部阻力部件前3 倍管徑或長邊長,局部阻力部件后5 倍管徑或長邊長的部位。對于矩形風管,是將測定截面分割成若干個相等的小截面。每個小截面盡可能接近正方形,邊長不應大于200mm,測點應位于小截面中心,但整個截面上的測點不宜少于3 個。對于圓形風管,應根據管徑大小,將截面劃分成若干個面積相同的同心圓環,每個圓環測4 點。根據管徑確定圓環數量,不宜少于3 個。

B.2  靜壓差的檢測

B.2.1靜壓差的測定應在所有的門關閉的條件下,由高壓向低壓,由平面布置上與外界最遠的里間房間開始,依次向外測定。

B.2.2采用的微差壓力計,其靈敏度不應低于2.0Pa。

B.2.3有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室,其洞口處應有合理的氣流流向。洞口的平均風速大于等于0.2m/s時,可用熱球風速儀檢測。

B.3  空氣過濾器泄漏測試

B.3.1  高效過濾器的檢漏,應使用采樣速率大于1L/min的光學粒子計數器。

D類高效過濾器宜使用激光粒子計數器或凝結核計數器。

B.3.2采用粒子計數器檢漏高效過濾器,其上風側應引入均勻濃度的大氣塵或含其他氣溶膠塵的空氣。對大于或等于0.5μm塵粒,濃度應大于或等于3.5×105pc/m 3;或對大于或等于0.1μm塵粒,濃度應大于或等于3.5×107pc/m3;若檢測D類高效過濾器,對大于或等于0.1μm塵粒,濃度應大于或等于3.5×109pc/m3

B.3.3  高效過濾器的檢測采用掃描法,即在過濾器下風側用粒子計數器的等動力采樣頭,放在距離被檢部位表面20~30mm處,以5~20mm/s的速度,對過濾器的表面,邊框和封頭膠處進行移動掃描檢查。

B.3.4 泄漏率的檢測應在接近設計風速的條件下進行。將受檢高效過濾器下風側測得的泄漏濃度換算成透過率,高效過濾器不得大于出廠合格透過率的2倍;D類高效過濾器不得大于出廠合格透過率的3倍。

B.3.5 在移動掃描檢測工程中,應對計數突然遞增的部位進行不定點檢驗。

B.4  室內空氣潔凈度等級的檢測

B.4.1空氣潔凈度等級的檢測應在設計指定的占用狀態(空態、靜態、動態)下進行。

B.4.2檢測儀器的選用:應使用采樣速率大于1L/min的光學粒子計算器,在儀器選用時應考慮粒徑鑒別能力,粒子濃度適用范圍和計數效率。儀表應有有效的標定合格證書。

B.4.3 采樣點的規定:

1最低限度的采樣點數NL,見表B.4.3;

表B.4.3   最低限度的采樣點數NL

測點數NL

2

3

4

5

6

7

8

9

10

潔凈區面

積A(m2

2.1~

6.0

6.1~

12.0

12.1~

20.0

20.1~

30.0

30.1~

42.0

42.1~

56.0

56.1~

72.0

72.1~

90.0

90.1~

110.0

注:1  在水平單向流時,面積A為與氣流方向呈現垂直的流動空氣截面的面積。

2  最低限度的采樣點數NL=A0.5計算(四舍五入取整數)。

采樣點應均勻分布于整面積內,并位于工作區的高度(距地坪0.8m的水平面),或設計單位、業主特指的位置。

B.4.4 采樣量的確定:

1每次采樣的最少采樣量見表B.4.4

B.4.4   每次采樣的最少采樣量Vs(L)表

潔凈度

等級

粒徑(μm)
0.10.20.30.51.05.0
120008400
220084019605680
320841965682400
4282057240
5222624680
62222268
7227
8222
9222

每個采樣點最少采樣時間為1min,采樣量至少為2L;

3每個潔凈室(區)最少采樣次數為3次。當潔凈區僅有個采樣點時,則在該點至少采樣3次;

4對預期空氣潔凈度等級達到4級或更潔凈的環境,采樣量很大,可采用ISO14644—1附錄F規定的順序采樣法。

B.4.5 檢測采樣的規定:

1  采樣時采樣口處的氣流速度,應盡可能接近室內設計氣流速度;

2  對單向流潔凈室,其粒子計數器的采樣管口應迎著氣流方向;對于非單向流潔凈室,采樣管口宜向上;

3  采樣管必須干凈,連接處不得有滲漏。采樣管的長度應根據允許長度確定,如果無規定時,不宜大于1.5m;

4  室內的測定人員必須穿潔凈工作服,且不宜超過3名,并應遠離或位于采樣點的下風側靜止不動或微動。

B.4.6 記錄數據評價。空氣潔凈度測試中,當全室(區)測點為2~9點時,必須計算每個采樣點的平均粒子濃度Ci值、全部采樣點的平均粒子深度N及其標準差,導出95%置信上限值;采樣點超過9點時,可采用算術平均值N作為置信上限值。

每個采樣點的平均粒子濃度Ci應小于或等于潔凈度等級規定的限值見表B.4.6-1。

表B.4.6-1   潔凈度等級及懸浮粒子濃度限值

潔凈度等級

大于或等于表中粒徑D的最大濃度Cn(Pc/m3

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4

10000

2370

1020

352

83

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

352000

83200

2930

8

3520000

832000

29300

9

35200000

8320000

293000

注:

1  本表僅表示了整數值的潔凈度等級(N)懸浮粒子最大濃度的限值。

2  對于非整數潔凈度等級,其對應于粒子粒徑D(μm)的最大濃度限值(Cn),應按下列公式計算求取。

3  潔凈度等級的粒徑范圍為0.5~5.0μm,用于定級的粒徑數不應大于3個,且其粒徑的順序級差不應小于1.5倍。

2全部采樣點的平均粒子濃度N的95%置信上限值,應小于或等于潔凈度等級規定的限值。即:式中  N──室內各測點平均含塵濃度,N=∑Ci/n;

n──測點數;

s──室內各測點平均含塵濃度N的標準差:

t──置信度上限為95%時,單側t分布的系數,見表B.4.6-2。

表B.4.6-2    t系數

點數

2

3

4

5

6

7~9

t

6.3

2.9

2.4

2.1

2.0

1.9

B.4.7 每次測試應做記錄,并提交性能合格或不合格的測試報告。測試報告應包括以下內容:

1  測試機構的名稱、地址;

2  測試日期和測試者簽名;

3  執行標準編號及標準實施日期;

4  被測試的潔凈室或潔凈區的地址、采樣點的特定編號及坐標圖;

5  被測潔凈室或潔凈區的空氣潔凈度等級、被測粒徑(或沉降菌、浮游菌)、被測潔凈室所處的狀態、氣流流型和靜壓型;

6  測量用的儀器的編號和標定證書;測試方式細則及測試中的特殊情況;

7  測試結果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度(或沉降菌、浮游菌的菌落數);

8  對異常測試值進行說明及數據處理。

B.5  室內浮游菌和沉降菌的檢測

B.5.1微生物檢測方法有空氣懸浮微生物法和沉降微生物法兩種,采樣后的基片(或平皿)經過恒溫箱內37℃、48h的培養生成菌落后進行計數。使用的采樣器皿和培養液必須進行消毒滅菌處理。采樣點可均勻布置或取代表性地域布置。

B.5.2懸浮微生物法應采用離心式、狹縫式和針孔式等碰擊式采樣器,采樣時間應根據空氣中微生物濃度來決定,采樣點數可與測定空氣潔凈度測點數相同。各種采樣器應按儀器說明書規定的方法使用。沉降微生物法,應采用直徑為90mm培養皿,在采樣點上沉降30min后進行采樣,培養皿最少采樣數應符合表B.5.2的規定。

表B.5.2   最少培養皿數

空氣潔凈度級別

培養皿數

<5

44

5

14

6

5

≥7

2

B.5.3 制約廠潔凈室(包括生物潔凈室)室內浮游菌和沉降菌測試,也可采用按協議確定的采樣方案。

B.5.4 用培養皿測定沉降菌,用砬撞式采樣器或過濾采樣器測定浮游菌,還應遵守以下規定:

1  采樣裝置采樣前的準備及采樣后的處理,均應在設有高效空氣過濾器排風的負壓實驗室進行操作,該實驗室的溫度應為22±2℃;相對濕度應為50%±10%;

2  采樣儀器應消毒滅菌;

3  采樣器選擇應審核其精度和效率,并有合格證書;

4  采樣裝置的排氣不應污染潔凈室;

5  沉降皿個數及采樣點、培養基及培養溫度、培養時間應按有關規范的規定執行。

6  浮游菌采樣器的采樣率宜大于100L/min;

7  碰撞培養基的空氣速度應小于20m/s。

B.6  室內空氣溫度和相對溫度的檢測

B.6.1  根據溫度和相對濕度波動范圍,應選擇相應的具有足夠精度的儀表進行測定。每次測定間隔不應大于30min。

表B.6.1   溫、濕度測點數

波動范圍

室面積≤50m2

每增加20~50m2

△t=0.5±~±0.2℃

5個

增加3~5

△RH=±5%~±10%

△t≤±0.5℃

點間距不應大于2m,點數不應少于5個

△RH≤±5%

B.6.2 室內測點布置:

1  送回風口處;

2  恒溫工作區具有代表性的地點(如沿著工藝設備周圍布置或等距離布置);

3  沒有恒溫要求的潔凈室中心;

4  測點一般應布置在距外墻表面大于0.5m,離地面0.8的同一高度上;也可以根據恒溫區的大小,分別布置在離地不同高度的幾個平面上。

B.6.3 測點數應符合表B.6.1的規定。

表B.6.1   溫、濕度測點數

波動范圍

室面積≤50m2

每增加20~50m2

△t=0.5±~±0.2℃

5個

增加3~5

△RH=±5%~±10%

△t≤±0.5℃

點間距不應大于2m,點數不應少于5個

△RH≤±5%

B.6.4 有恒溫恒濕要求的潔凈室。室溫波動范圍按各測點的各次溫度中控制點溫度的最大值,占測點總數的百分比整理成累積統計曲線。如90%以上測點偏差值在室溫波動范圍內,為符合設計要求。反之,為不合格。

區域溫度以各測點中最低的一次測試溫度為基準,各測點平均溫度與超偏差值的點數,占測點總數的百分比整理成累計統計曲線,90%以上測點所達到的偏差為區域溫差,應符合設計要求。相對溫度波動范圍可按室溫波動范圍的規定執行。


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